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碳化硅高纯粉料(SiC)

       碳化硅高纯粉料(SiC)由高纯硅粉和高纯碳粉通过高温固相反应法合成,其纯度可达99.999%wt以上。其氮、硼、铝等杂质含量极低,可在高纯半绝缘碳化硅单晶生长中,提高其半绝缘性能。


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